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微型壓力傳感器適用于各種科研實驗及其精密儀器設(shè)備。常用于空氣動力測、流體力學(xué),水工試驗、葉片機(jī)、水輪機(jī)及水下兵器試驗、液壓動力、空氣動力學(xué)、飛行器及發(fā)動機(jī)、風(fēng)洞試驗等許多科研領(lǐng)域，那么它的應(yīng)用前景是什么樣的呢?下面小編就為大家簡單介紹一下。
微型壓力傳感器可以用類似集成電路的設(shè)計技術(shù)和制造工藝，進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用壓力傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡單、易用和智能化。
傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣，像集成電路那么微小，而且成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于MEMS壓力傳感器。相對于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，壓力傳感器的尺寸更小，最大的不超過一個厘米，相對于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)，其性價比大幅度提高。
微型壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子如TPMS、發(fā)動機(jī)機(jī)油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動機(jī)進(jìn)氣歧管壓力傳感器(TMAP)、柴油機(jī)共軌壓力傳感器。
消費電子如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤，洗衣機(jī)、洗碗機(jī)、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器，空調(diào)壓力傳感器，洗衣機(jī)、飲水機(jī)、洗碗機(jī)、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器。工業(yè)電子如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表、工業(yè)配料稱重等。
典型的微型壓力傳感器管芯(die)結(jié)構(gòu)和電原理，左是電原理圖，即由電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋，右為管芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品。
微型壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個封裝內(nèi)(MCM)，使產(chǎn)品設(shè)計師很容易使用這個高度集成的產(chǎn)品設(shè)計最終產(chǎn)品。
